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綠碳化硅微粉和金剛石線進(jìn)行線切割的區(qū)別

發(fā)布時(shí)間:2024-04-05 06:53:37 瀏覽次數(shù):

綠碳化硅微粉和金剛石線進(jìn)行線切割的區(qū)別



        綠碳化硅微粉是光伏行業(yè)中普遍使用的線切割刃料。近年來,光伏行業(yè)大幅萎縮,線切割主要用途半導(dǎo)體行業(yè)硅晶片的切割。碳化硅微粉配合鋼絲和金剛石微粉制成的金剛線成為晶片切割的兩種主要工具。兩者之前的區(qū)別主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:


1. 綠碳化硅微粉進(jìn)行線切割是磨料顆粒對晶體晶錠的滾動(dòng)研磨。金剛線切割是磨料顆粒固定在金屬絲上進(jìn)行直接鋸切。

2. 碳化硅線切割時(shí),磨料磨削的速度是鋼絲速度的二分之一。金剛石線進(jìn)行切割時(shí),磨料切削速度于鋼絲同步。

3. 綠碳化硅微粉進(jìn)行線切割時(shí),對晶片表面損傷較小。金剛石線切割的表面粗糙度比碳化硅漿料切割低。

4. 綠碳化硅微粉的單片切割成本高于金剛線切割。

5. 金剛石線切割時(shí),晶錠的去除率是碳化硅線切割的數(shù)倍。

6. 綠碳化硅與乙二醇混合切割不如金剛石線環(huán)境清潔。

由此可見,綠碳化硅微粉線切割和金剛石線切割各有利弊。雖然目前金剛線切割已經(jīng)成為主流線切割的方式,但是對于表面粗糙度要求高的工作而言,綠碳化硅微粉也有其存在的合理性。綠碳化硅微粉1500目2000目顆粒均勻,清潔度高,切削力強(qiáng),是碳化硅線切割的常用粒度。




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